納米光刻系統(tǒng)
電子束光刻系統(tǒng)是Raith的核心業(yè)務(wù)。我們豐富的產(chǎn)品組合,涵蓋從全自動(dòng)高分辨率系統(tǒng)到多功能工具,可以為您提供理想的EBL系統(tǒng),以滿(mǎn)足您的需求。
Raith獨(dú)特的FIB-SEM系統(tǒng)定義FIB為優(yōu)先技術(shù)。由場(chǎng)發(fā)射SEM和Raith公司獨(dú)特的激光干涉儀工作臺(tái)支持,F(xiàn)IB-SEM納米光刻系統(tǒng)滿(mǎn)足了研發(fā)納米原型以及樣品制備和顯微技術(shù)中最苛刻的要求。
高效、全自動(dòng)的納米測(cè)量和過(guò)程控制與Raith的高精度激光干涉儀臺(tái)相結(jié)合,是Raith掃描電子顯微鏡精確大面積圖像采集解決方案的基礎(chǔ)。雖然它對(duì)逆向工程應(yīng)用尤其有價(jià)值,但它對(duì)任何需要納米分辨率超過(guò)cm2和用于重建的優(yōu)秀層到層3D精度的應(yīng)用都是有益的。
我們的納米光刻升級(jí)組件提供了簡(jiǎn)單和具成本效益的專(zhuān)業(yè)納米光刻和納米制造。只需將該組件與現(xiàn)有的SEM、FIB、FIB-SEM或HIM相結(jié)合,即可作為納米光刻系統(tǒng)使用。
Raith是納米制造、電子束光刻、FIB SEM納米制造、納米工程和逆向工程應(yīng)用的先進(jìn)精密技術(shù)制造商??蛻?hù)包括參與納米技術(shù)研究和材料科學(xué)各個(gè)領(lǐng)域的大學(xué)和其他組織,以及將納米技術(shù)用于特定產(chǎn)品應(yīng)用或生產(chǎn)復(fù)合半導(dǎo)體的工業(yè)和中型企業(yè)。Raith成立于1980年,總部位于德國(guó)多特蒙德,擁有超過(guò)250名員工。公司通過(guò)在荷蘭、美國(guó)和亞洲的子公司,以及廣泛的合作伙伴和服務(wù)網(wǎng)絡(luò),與全球重要市場(chǎng)的客戶(hù)密切合作。
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